회사 측은 "이 특허는 기판을 이송하는 구동원이 아닌 이송되는 기판의 저면에 접해 연동 회전한다"며 "따라서 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것"이라고 설명했다.
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[공시]탑엔지니어링, 기판 식각 장치 관련 국내 특허 취득
등록 2019.09.18 10:25:05
회사 측은 "이 특허는 기판을 이송하는 구동원이 아닌 이송되는 기판의 저면에 접해 연동 회전한다"며 "따라서 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것"이라고 설명했다.
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