싸이맥스, 로드포트 정렬 측정 장치 관련 특허권 취득

【서울=뉴시스】정옥주 기자 = 싸이맥스(160980)는 로드포트 정렬 측정 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.

회사 측은 "웨이퍼나 반도체로 일컬어지는 기판 제조 공정에서 기판의 반송에 사용되는 로드포트에서 구동 상의 정렬 상태를 측정할 수 있는 로드포트 정렬 측정 장치에 관한 것"이라며 "LPM 생산공정에 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.

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