[공시]탑엔지니어링, 기판 식각 장치 관련 국내 특허 취득

【서울=뉴시스】김제이 기자 = 코스닥 상장사 탑엔지니어링(065130)은 기판 식각 장치에 대한 국내 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

회사 측은 "이 특허는 기판을 이송하는 구동원이 아닌 이송되는 기판의 저면에 접해 연동 회전한다"며 "따라서 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것"이라고 설명했다.


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