20일 씨엠티엑스에 따르면 특허심판원은 지난 16일 씨엠티엑스가 청구한 램리서치의 '무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들(특허 제2201934호)' 특허무효 심판에서 청구 성립 심결을 내렸다. 해당 특허를 무효로 하고, 심판비용은 피청구인인 램리서치가 부담한다는 주문이다.
이 특허는 플라즈마 공정 챔버 내에서 무선 주파수(RF) 전류가 흐르는 경로를 제어해 챔버 벽을 보호하고 이상 방전을 막는 기술에 관한 것이다.
소송의 대상이 된 제품은 '한정 링'으로 반도체 식각 공정 장비 내부에 장착되는 핵심 실리콘 부품이다. 플라즈마 챔버 내에서 플라즈마를 일정한 공간 안에 가둬 공정의 안정성과 수율을 확보하는 핵심적인 역할을 한다.
램리서치 측은 챔버 내 부품 간의 미세한 갭이 RF 단락 역할을 해 전류를 흐르게 하는 것이 자사 고유의 기술이라 주장해 왔다.
하지만 특허심판원은 램리서치 특허가 일본의 공개 특허 등 선행기술 결합에 의해 통상의 기술자가 쉽게 발명할 수 있으므로 진보성이 없다고 판단했다.
이에 따라 램리서치가 씨엠티엑스에 제기한 특허권 침해 금지 소송의 근거인 인접 특허 2건이 모두 무효화됐다. 램리서치는 지난 2024년 10월, 같은 이름인 '무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들' 특허 2건(제2285582호, 제2201934호)을 침해했다는 이유로 씨엠티엑스에 특허권 침해 금지 및 손해배상청구 소송을 제기했다.
씨엠티엑스는 각각의 특허에 대해 권리범위확인심판 및 특허무효심판을 특허심판원에 청구해 대응해 왔다. 특히 지난해 7월 특허 제2285582호에 대한 권리범위확인심판에 이어 최근 2건의 특허무효심판을 모두 승소함으로써 향후 소송전에서 유리한 고지를 점하게 됐다.
씨엠티엑스 관계자는 "이번 심결은 씨엠티엑스 제품이 램리서치의 지식재산권을 침해하지 않았다는 것을 명확히 확인받은 결과"라며 "앞으로도 특허 공세에 적극 대응하는 한편, 실리콘 부품 무한 재생 등 차별화된 기술 개발과 사업화를 통해 글로벌 반도체 소재부품 공급망에서 입지를 강화해나갈 것"이라고 말했다.
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