JSR마이크로코리아, 청주에 차세대 반도체 소재 공장 준공

극자외선 노광공정 'MOR' 생산

[청주=뉴시스] 임선우 기자 = JSR마이크로코리아는 30일 충북 청주시 오창 외국인투자지역에 차세대 반도체 소재 생산공장을 준공했다.

이 공장에서는 극자외선(EUV) 노광공정에 사용되는 금속산화물레지스트(MOR)를 생산하게 된다.

MOR은 기존 소재보다 EUV 흡수율이 높아 반도체 초미세화의 핵심 소재로 꼽힌다.

JSR마이크로코리아의 모기업인 JSR은 1957년 설립된 일본의 글로벌 소재기업으로 반도체·디스플레이 소재 등을 개발·제조하고 있다.

특히 빛에 반응하는 감광성 고분자 재료인 '포토레지스트' 분야에서 세계적인 경쟁력을 보유했다는 평가다.

신용한 지사는 이날 준공식에서 "충북은 SK하이닉스 등 반도체 제조기업과 소재·부품·장비기업이 집적된 국내 반도체 산업의 거점"이라며 "JSR마이크로코리아 공장 준공으로 반도체 초미세공정 핵심소재의 경쟁력이 더욱 강화될 것"이라고 말했다.


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