그린광학, 반도체 포토 공정 '정밀 광학·센서 모듈' 양산 공급

글로벌 반도체 S사 전공정 생태계 진입

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 초정밀 광학 솔루션 전문기업 그린광학은 반도체 핵심 전공정인 포토(노광) 공정 설비용 '정밀 광학·센서 모듈' 제품군이 고객사 최종 품질 인증을 마치고 양산 공급을 진행 중이라고 22일 밝혔다.

회사 측에 따르면 이번에 공급 중인 제품군은 국내 유력 반도체 장비 기업이 생산하는 포토 공정 핵심 설비에 탑재되고 있으며, 해당 설비는 글로벌 반도체 기업인 S사의 첨단 미세공정 반도체 제조라인에 공급돼 실제 운용되고 있다.

그린광학이 공급하는 제품군은 노광 설비 내 구동을 담당하는 모듈이다. 설비 내에서 웨이퍼의 미세한 위치·안착 상태를 실시간으로 감지하는 '고정밀 센서 모듈'과, 포토 공정 중 웨이퍼 외곽부의 감광액(PR) 처리에 활용되는 '초정밀 광학 모듈' 등으로 구성된다. 그린광학은 까다로운 전공정 장비 사양에 맞춘 테스트를 통과하며 품질 안정성을 입증했다고 전했다.

그린광학 관계자는 "이번 정밀 광학·센서 모듈 공급은 기술적 진입장벽이 가장 높은 반도체 전공정 노광 설비 분야에서 그린광학의 광학 기술과 품질 경쟁력을 공식 인정받았다는 점에서 의미가 있다"면서 "차세대 반도체 공정에 최적화된 맞춤형 광학 솔루션을 지속 선보이며 글로벌 장비 기업들의 핵심 기술 파트너로 도약하겠다"고 말했다.


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