테라뷰, 14억 규모 반도체 검사장비 'EOTPR' 공급계약

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 테라헤르츠(THz) 솔루션 기업 테라뷰홀딩스는 미국 검사·계측 전문기업 '코밸런트 메트롤로지(Covalent Metrology)'와 14억원 규모의 반도체 검사장비 'EOTPR' 공급계약을 체결했다고 29일 밝혔다.

이는 지난해 매출액 대비 17.39%에 해당하는 규모로 계약기간은 내년 1월 20일까지다.

회사 측에 따르면 코밸런트 메트롤로지는 반도체 소재·소자의 품질·불량분석 서비스를 제공하는 미국 전문기업이다. 테라뷰는 이번 공급으로 인공지능(AI) 반도체 검사 분야의 고객 레퍼런스를 강화하고, 글로벌 파운드리와 외주 검사·제조 파트너사를 대상으로 EOTPR 공급 확대에 나설 계획이다.

EOTPR은 테라헤르츠파를 활용해 반도체 패키지를 손상시키지 않고 내부 연결부의 결함을 검출하고 위치를 분석하는 비파괴 검사장비다. 테라헤르츠파는 적외선과 마이크로파 사이에 위치하는 전자기파로, 검사 대상의 내부 구조와 결함을 정밀하게 확인할 수 있는 것이 특징이다.

도널드 도미닉 아논 테라뷰 대표이사는 "EOTPR은 그래픽처리장치(GPU)와 고대역폭메모리(HBM) 등 개별 소자뿐 아니라 AI 반도체 내부에서 소자를 연결하는 미세 구조의 결함 검사에도 활용된다"면서 "이번 수주는 해당 분야의 성장 가능성이 실제 장비 공급으로 이어진 사례"라고 설명했다.


◎공감언론 뉴시스 [email protected]