기술교육대 클린룸 장비 6종 추가, 반도체 인력 양성

융복합장치, 전기로

복합 스퍼터, 노광기 등

한국기술교육대 클린룸 전경. 사진=한국기술교육대 제공 *재판매 및 DB 금지

[천안=뉴시스]박우경 기자 = 한국기술교육대가 반도체 제조공정 및 장비교육 및 실습 공간인 ‘클린룸’(clean room)에 6종의 장비를 추가 구축해 반도체 전문인력 양성에 나선다고 25일 밝혔다.

클린룸이란 반도체소자나 집적회로 등 정밀 전자부품을 제조하기 위해 미세먼지를 제거한 청정실을 말한다.

추가된 장비는 반도체소자 제조를 위한 FAB 공정 핵심 장비인 융복합장치(PECVD/PEALD), 전기로(Furnace), 복합 스퍼터(Sputter), 노광기(Aligner System), 습식세정장비(Wet-Station), 공기조화기(AHU System) 등으로서, 교육생들이 기존 장비와 연계해 공정 전체를 통합 실습할 수 있는 환경을 조성했다.

250평 면적의 한기대 클린룸은 0.5마이크로 이상 크기의 입자수가 1입방 피트 중 1000개 이하인 CLASS 1000 등급이며, 반도체제조공정실와 솔라셀제조공정실, Utility실, 공조실 등으로 구성돼 있다.

이진구 능력개발교육원장은 “클린룸을 적극 활용해 재학생뿐 아니라 직업훈련기관, 직업계고, 재직자 등 대상으로 맞춤형 인재를 양성하는 데 더욱 주력하겠다”고 말했다.


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