핵융합연구원, 고정밀 고주파 전력 측정기술 민간 이전

아센디아와 계약 체결…반도체 공정 안정성과 수율 확보 핵심 요소

[대전=뉴시스] 1일 열린 고정밀 RF 파워 측정기술 실시계약 서명식 뒤 아센디아 박문수 대표이사(왼쪽)와 핵융합연 오영국 원장이 기념촬영을 하고 있다.(사진=핵융햡연 제공) *재판매 및 DB 금지

[대전=뉴시스] 김양수 기자 = 한국핵융합에너지연구원은 1일 대전 본원에서 ㈜아센디아와 반도체·디스플레이 플라즈마 장비에 활용되는 '고정밀 RF 파워(고주파 전력) 측정 기술' 이전을 위한 기술실시계약을 체결했다고 밝혔다.

이전 기술은 반도체·디스플레이 제조공정에서 플라즈마에 공급되는 고주파 전력을 정밀하게 측정하는 기술로 반도체 공정 안정성과 수율 확보를 위한 핵심 요소다.

기존 센서는 전압과 전류를 기반으로 전력 상태를 파악하는 방식이어 복잡한 플라즈마 공정 조건에서는 실제 전달 전력을 정확히 측정하는 데 한계가 있다.
 
핵융합연이 개발한 DiCoVI(Directional Coupled VI) 센서는 기존 기술에 방향성 결합 기술을 더해 측정 정확도를 높였다.

DiCoVI 센서는 장비 운전 중 고주파 전력 전달 상태를 더 정밀하게 확인할 수 있어 장비상태 모니터링과 공정진단에 활용될 수 있다.

이번 기술은 핵융합연이 지난 2020년부터 국가과학기술연구회 융합연구단 사업으로 수행해 온 Plasma E.I.(플라즈마장비지능화) 융합연구단 과제와 올해 1월 착수한 전략연구사업 ‘초미세공정용 반도체 장비 개발’을 통해 이룬 성과다.

아센디아는 1990년 설립 이후 반도체 플라즈마 공정용 RF 전력 핵심 부품인 고주파 전원 공급 장치, RF 매처, 필터, 튜너 등을 개발·제조해 온 기업이다. DiCoVI 센서를 자사 RF 매처에 적용해 고정밀 측정 기능을 갖춘 차세대 RF 매처 개발과 사업화를 추진할 예정이다.

기술이전 책임자인 김종식 책임연구원은 "이번 기술이전은 연구원이 개발한 플라즈마 진단 기술이 산업 현장의 공정 안정화와 장비 고도화에 활용되는 사례가 될 것"이라고 말했고 오영국 원장은 "핵융합 기술개발 과정에서 축적한 플라즈마 원천기술은 반도체, 디스플레이 등 다양한 첨단산업에 폭넓게 활용될 수 있다"고 밝혔다.


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