삼성 반도체 '양산 노하우' 공공나노팹에 푼다…중고장비도 이전

과기정통부, 한국나노기술원서 컨설팅 결과보고·장비 이전식

SOP·점검표·교육기준 개선…공공나노팹용 현장점검 매뉴얼 개발

ETRI·서울대·DGIST 등 모아팹 참여기관으로 컨설팅 모델 확산

[서울=뉴시스] 삼성전자 화성사업장 반도체 클린룸 내부 모습 (제공=삼성전자)

[서울=뉴시스]윤현성 기자 = 삼성전자가 반도체 양산 현장에서 쌓은 팹 운영·관리 노하우와 유휴 장비를 공공나노팹에 이전한다. 기업이 실제 생산현장에서 활용해온 관리체계를 공공 연구인프라에 접목해 반도체 연구개발과 기술지원 역량을 높인다는 목표다.

과학기술정보통신부는 11일 수원 한국나노기술원에서 '삼성전자-한국나노기술원 공공나노팹 운영 효율화 컨설팅 결과보고회 및 모아팹 중고장비 이전식'을 개최한다고 밝혔다.

이번 협력은 과기정통부와 삼성전자·SK하이닉스·DB하이텍 등 반도체 3사가 지난해 3월 체결한 업무협약(MOU)의 후속조치다.

삼성전자 DS부문 상생협력센터는 나노종합기술원과 나노융합기술원에 이어 한국나노기술원을 대상으로 지난 6월부터 10월까지 약 4개월간 반도체 팹 운영·관리 컨설팅을 수행했다. 이날 행사에서는 컨설팅 결과와 함께 삼성전자의 유휴장비를 한국나노기술원으로 옮기는 장비 이전식도 함께 진행했다.

이번 컨설팅은 삼성전자가 반도체 소재·부품·장비 협력사를 대상으로 운영해온 '소부장 눈높이 컨설팅'을 공공나노팹 환경에 맞게 바꿔 적용한 것이다.

삼성전자는 한국나노기술원의 기존 팹 운영방식을 점검한 뒤 장비별 표준작업절차서(SOP), 점검표, 교육·운영 기준 등에 실제 산업현장의 운영 노하우를 반영했다.

특히 양산 수준의 민간 반도체 기업에서 사용하던 관리방식을 바탕으로 공공나노팹 전용 '현장점검 매뉴얼'을 새로 개발해 처음 적용했다. 팹 안전과 설비 상태를 기관이 상시 확인할 수 있도록 점검 절차를 표준화한 것이 핵심이다.

공공나노팹에 장비를 직접 공급하는 작업도 병행한다. 과기정통부의 '모아팹 중고장비 활용 지원사업'은 기업이 사용하지 않는 장비를 공공나노팹으로 옮기고 정부가 이전·구축 비용을 지원하는 사업이다.

이 사업의 일환으로 진행된 장비 이전식을 통해 한국나노기술원에는 삼성전자가 보유했던 '자동 패턴 박막 측정 장비'가 이전된다. 8인치 반도체 웨이퍼의 단층·다층 박막 두께와 광학상수를 웨이퍼를 훼손하지 않고 정밀 측정해 반도체 공정을 모니터링하는 장비다.

한국나노기술원은 이를 통해 기존에 없던 8인치 자동 박막 계측 역량을 확보하게 된다. 이전 장비는 기업과 대학·연구소의 연구개발 및 기술지원에 활용하고 기존 팹 서비스와 전문인력 양성 프로그램에도 연계할 예정이다.

정부는 삼성전자의 팹 운영 컨설팅 방식을 한국나노기술원에만 적용하지 않고 다른 공공나노팹으로 확대할 계획이다. 과기정통부는 '모아팹'에 참여하는 전체 기관에 이번 컨설팅 결과와 현장점검 매뉴얼을 공유한다.

향후 한국전자통신연구원(ETRI) 특화반도체기술센터와 서울대 반도체공동연구소, 대구경북과학기술원(DGIST) 차세대센서·반도체연구소 등에도 같은 컨설팅 모델을 순차적으로 적용할 예정이다.

지현기 삼성전자 DS부문 상생협력센터장 부사장은 "삼성전자가 축적한 제조혁신 노하우가 공공나노팹을 거쳐 연구자와 소부장 기업에 다시 이어지는 상생의 선순환에 힘을 보태고자 한다"며 "이번에 개발한 컨설팅 모델이 다른 모아팹 참여기관으로 확산되는 과정에도 꾸준히 함께해 국내 반도체 생태계 경쟁력 강화에 기여하겠다"고 강조했다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 "글로벌 반도체 경쟁이 국가 역량을 총결집하는 경쟁으로 바뀌면서 민간의 장비와 노하우가 공공 연구인프라로 이어지는 민관협력의 중요성이 커지고 있다"며 "민간기업 컨설팅과 유휴장비 이전 같은 협력 모델을 모아팹 참여기관 전반으로 넓혀 공공나노팹의 운영 수준을 끌어올리고 반도체 기술혁신과 전문인력 양성을 뒷받침하겠다"고 말했다.


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