티로보틱스, 반도체 유리기판 이송로봇 美 특허 등록

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 티로보틱스는 반도체 유리기판 이송로봇 관련 미국 특허 등록을 완료했다고 21일 밝혔다.

회사 측에 따르면 티로보틱스는 앞서 국내와 일본에서 관련 기술의 특허 등록을 완료한 데 이어 이번 미국 특허까지 확보했다. 이를 통해 주요 반도체 시장에서 핵심 기술에 대한 권리 보호 기반을 마련하고 차세대 반도체 공정용 로봇의 글로벌 사업 경쟁력을 높였다.

이번 특허는 진공 챔버 내부에서 기판을 정밀하게 이송하는 장치에 관한 기술이다. 티로보틱스는 디스플레이용 진공로봇 개발·공급을 통해 축적한 기술력을 바탕으로 반도체 유리기판 이송 분야까지 기술 적용 범위를 넓히고 있다.

티로보틱스는 기존 8.6세대 유기발광다이오드(OLED) 이송로봇 개발 과정에서 축적한 정밀 제어·진공 이송 기술을 반도체 유리기판 이송로봇에 적용하고 있다. 대형 기판의 안정적인 이송 경험과 국내외 특허를 바탕으로 차세대 패키징 시장 진출을 준비 중이라고 회사 측은 설명했다.

회사는 현재 중국과 대만에서도 관련 기술의 특허 출원 절차도 진행하고 있다.

티로보틱스 관계자는 "글로벌 반도체 제조사 및 장비업체의 기술 수요에 적극 대응하고 차세대 반도체 공정용 로봇의 사업화를 본격 추진할 것"이라고 말했다.

한편, 티로보틱스는 지난달 약 45억원 규모의 휴머노이드 로봇 인공지능 전환(AX) 기술개발 국책과제 주관기관으로도 선정된 바 있다.


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