세라믹기술원 '반도체 챔버 부품’ 프로젝트 사업에 선정

5년간 400억원 투입

[진주=뉴시스] 한국세라믹기술원 전경.(사진=뉴시스 DB)[email protected] *재판매 및 DB 금지

[진주=뉴시스] 정경규 기자 = 한국세라믹기술원은 '반도체 장비 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축' 공모사업에 최종 선정됐다고 4일 밝혔다.

'챔버핵심 부품' 공모사업은 구미 반도체 특화단지에 반도체 장비 부품을 직접 만들고 성능까지 확인해 볼 수 있는 대규모 인프라를 조성하는 프로젝트다. 이 사업은 2026년부터 2030년까지 5년간 총 400억 원이 투입된다.

'반도체 챔버'는 웨이퍼가 실제 공정을 거치는 핵심 공간이다.

특히 반도체 공정의 고집적화·미세화가 가속화됨에 따라 극한의 환경을 견디는 고기능성 세라믹 소재 기술이 글로벌 반도체 경쟁력을 결정짓는 핵심 변수로 부상했다.

첨단 세라믹 소재·부품의 기술 확보 없이는 차세대 반도체 시장 주도가 불가능한 만큼 이번 테스트베드 구축을 이끄는 한국세라믹기술원의 행보에 업계의 이목이 쏠리고 있다.

이에 한국세라믹기술원은 고부가가치 품목이라 해외 의존도가 높았던 '챔버 3대 핵심 부품'의 국산화에 역량을 집중한다. ▲정전기를 이용해 웨이퍼를 꽉 잡아주는 받침대인 '정전척(ESC)' ▲반도체를 깎는 에너지를 돋보기처럼 정확한 위치에 모아주는 '내플라스마 포커스 링' ▲용광로의 내화벽돌처럼 챔버 안쪽을 보호하는 방패인 '고기능성 챔버 라이너'다.

경북 구미에 연면적 3000㎡ 규모의 기술지원 센터와 클린룸을 짓고 원료 배합부터 시제품 제작, 시험·평가, 검증 데이터 확보까지 전 과정을 아우르는 '원스톱 지원체계'를 구축할 계획이다.

테스트베드에서 산출되는 공인 검증 데이터는 국내 소부장 기업이 수요기업 및 글로벌 장비사와 협력하는 데 필요한 객관적 자료로 활용될 전망이다.

한국세라믹기술원 윤종석 원장은 "이번 사업은 반도체 챔버 핵심 소재·부품의 해외 의존도를 낮추고 국내 기업의 기술 자립과 글로벌 공급망 진입을 지원하는 중요한 기반이 될 것"이라며 "공공연구기관으로서 구미시와 함께 5극 3특 국가 균형성장 기조에 부합하는 지역 주도형 반도체 소부장 육성 모델을 만들어 가겠다"고 말했다.


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