아바코, 2세대 TGV 레이저 가공 장비 성능 고도화

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 첨단산업 종합 장비기업 아바코가 차세대 반도체 패키징 핵심 기술로 주목받는 유리기판(TGV) 공정 솔루션 경쟁력 강화에 나섰다.

아바코는 최근 2세대 TGV(Through Glass Via) 레이저 가공 장비 'AXIUM AP-250K'의 성능 고도화를 완료하고, 플라즈마 증착·식각 공정을 포함한 유리기판 토탈 솔루션 사업 확대를 추진하고 있다고 17일 밝혔다.

회사 측에 따르면 아바코는 시장 변화에 대응하기 위해 TGV 레이저 가공부터 플라즈마 기반 증착·식각까지 이어지는 통합 공정 솔루션을 고도화하고 있다.

이번에 성능 개선을 완료한 'AXIUM AP-250K'는 유리기판 양산성을 고려한 2세대 TGV 레이저 장비다. 기존 1세대 장비 대비 생산성을 높인 것이 특징이다.

AXIUM AP-250K는 초당 1만홀 수준의 가공 속도를 구현했으며, 듀얼 광학 헤드를 기반으로 대면적 패널을 균일하게 가공할 수 있도록 설계됐다. 또 ±5㎛수준의 공차 제어를 통해 차세대 패키징 공정에서 요구되는 정밀도를 확보했다고 회사 측은 전했다.

아바코 관계자는 "디스플레이 공정 분야에서 축적한 진공·박막 공정 기술력을 기반으로 유리기판 및 AI 반도체 패키징 시장 대응 역량을 강화하고 있다"며 "TGV 레이저 가공부터 플라즈마 기반 증착·식각까지 아우르는 공정 솔루션 경쟁력을 바탕으로 글로벌 시장 확대에 적극 나설 계획"이라고 말했다.


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